Samco und die OST – Ostschweizer Fachhochschule arbeiten bei der Mikrostrukturierung von Wafern zusammen. Der international aktive Hersteller von Prozessanlagen für Halbleiter aus Liechtenstein hat sein Plasma-Ätzsystem im Reinraum der OST in Buchs intalliert.

Samco und die OST – Ostschweizer Fachhochschule haben eine Partnerschaft auf dem Gebiet der Mikrotechnologie vereinbart. Der international aktive Hersteller von Halbleiter-Prozessanlagen aus Rugell hat sein Plasma-Ätzsystem RIE-10NR im Reinraum am Campus Buchs der OST installiert, informiert die Hochschule in einer Mitteilung. Der nur zehn Autominuten von Rugell entfernt gelegene Standort der OST in Buchs biete „umfassenden Support“, darunter weitere Geräte für die Waferbearbeitung, heisst es dort weiter.

Im Analytiklabor der Hochschule können die Schichtdicken der Wafer gemessen und mit einem Rasterelektronenmikroskop analysiert werden. Das Institut für Mikrotechnik und Photonik der OST verspricht sich von der Kooperation mit Samco neue Impulse für die industrienahe Forschung und Entwicklung im Bereich Mikrotechnik.

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